熱式氣體質量流量計是基于熱量在流體中的傳遞進行測量的，根據熱力學原理的不同可以分為熱分布式質量流量計和熱擴散式質量流量計兩種。熱分布式質量流量計作為一種非接觸式儀表，適用于小口徑微小流量的測量；作為一種插入式儀表，其傳感器放置于管道中間，適用于較大口徑流量的測量。
可測極微小流速且分辨率高，傳感器安裝在管道上且與流體不接觸，避免了流體的壓力損失。
正確認識熱式氣體質量流量計的優異性能：
一個好品質的熱式流量計產品須具備兩個最主要的特點：好的探頭制造工藝和完整的實流標定裝置。分別來分析這兩大特點：
a.探頭制造工藝：熱式流量計的原理，從原理上可以看出探頭是整個流量計的核心，它的性能優劣可以決定流量計的測量精度、重復性、使用壽命、低流速特性。探頭是由鉑金電阻絲、護套不銹鋼組成。鉑金電熱絲導電，護套不銹鋼也導電，這就要求它們之間的填隙物須要導熱性能非常好，但是又不能導電。這個就引出了所有熱式流量計的核心——加熱探針的填隙b.材料及封裝工藝：
填隙層越厚，雖然絕緣性好了，但是導熱的性能就差，且溫度的靈敏性也差，同時響應滯后。填隙物如果是有機物，容易老化導致填料出現裂縫，流量計就表現為零點漂移。填隙物內如果有微小的空氣，由于此探針一直處于加熱狀態，微小的空氣膨脹，引起零點波動。
